Zeiss Gemini 镜筒的工作原理

发布时间:2018-10-31
GEMINI镜筒--ZEISS场发射电镜特有的镜筒设计

 

特点

高稳定热场发射电子枪(FEG
变化 < 0.2 % / h

低电子束噪声 
< 1 %

无交叉电子束路径
无 Boersch 效应, 大景深

电子束加速器 
电子束加速器使得在整个电子束能量范围,直至低至 100 V,都有极好的图像分辨率
对环境杂散磁场具有高的抵御能力。

复合磁/静电物镜的原理 和它的等效光学示意


GEMINI® 透镜系统相当于一个三片一组的光学透镜;磁场被包含在透镜内部,允许高分辨率成像,在样品上无磁场!!在所有 kV 保持不变!

 

GEMINI® 技术为克服限制分辨率的主要因素而设计。
最重要的一个特点是在减小电子束能量时减小像差。

 

GEMINI® 镜筒演示视频


|来源:网络