0.1~8.0KeV连续可调
+10°到-10° 具有双束调制系统,可进行小于 1°的单、双面减薄
可达10mA/cm2
可XY方向正负移动(不小于0.5mm)
无需破真空,时间小于 30 秒
可预先设定研磨厚度,控制样品机械减薄至70-100μm,精确控制样品厚度,快速简便的打磨出平面样品,其内置测厚工具显示其微米级厚度
可控制精度:1μm,研磨载荷:0~40g,可实时读取样品厚度,配有体式显微镜,可精确定位与表面观察
可精确控制温度
几乎可以切割任何材料,包括:脆性/韧性金属,复合材料,陶瓷,塑料,层压制品,电子器件和生物材料 定位精度:0.1mm; 主轴转速:100~975转/分 切割尺寸:<1~10mm,切割厚度:<40μm~5mm
能对样品台精确控制制冷温度
按照常规的TEM样品制备流程,块状样品通常分为四个工序:切割-研磨-凹坑-离子减薄,不同的阶段需要用到不同的工具。