场发射扫描电子显微镜 (设备编号:S1803747)

中文名称
场发射扫描电子显微镜
型号规格
ZEISS Gemini 500
生产厂家
德国 Carl Zeiss
启用日期
2018-03-01
所属单位
分析测试中心电镜室
仪器负责人
王老师 测试咨询
安装地点
大学城校区理5栋111-4
联系方式
分辨率

0.6nm@15kV,1.1nm@1 kV,1.2nm@0.5kV

放大倍数

20-2,000,000

加速电压

0.02 kV ~ 30 kV

能量分辨率

在100,000CPS条件下Mn Ka保证优于129eV 轻元素分辨率:C-K/57eV, F-K/67eV

元素分析范围

Be4~Am95

电子枪

肖特基热场发射电子枪

能谱仪

Bruker Dual QUANTAX 200 with XFlash6 (双探头)

功能及特点
  • GeminiSEM 500 采用增强型电子光学设计,在低电压下拥有高分辨率,实现更出色的信号检测效率。
  • 新设计的纳米双镜头通过优化几何结构及静电场与磁场的分布来进一步提高低电压、超低电压下的分辨率。
  • 同时,in-lens 探测器的信号在低电压成像条件下增强了 20 倍。
  • 在高分辨率电子枪模式下,电子束色差降低,从而实现更小的束斑。
  • 经改进的样品室背散射电子探测器(BSD)和透射电子探测器在低加速电压下拥有更高效率,且能实现快速成像。
样品要求

送检样品必须为干燥固体、块状、片状、纤维状及粉末状均可。应有一定的化学、物理稳定性,在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形;无磁性、放射性和腐蚀性。含水分较多的生物软组织的样品制备,要求用户自己进行临界点干燥之前的固定、清洗、脱水及用醋酸(异)戊酯置换等处理,最后可以到由本室进行临界点干燥或冷冻干燥处理。观察图像样品应预先喷金膜。一般情况下,样品尽量小块些(≤ 10 x 10 x 5 mm较方便)。粉末样品每个需1克左右。纳米样品一般需超声波分散,并镀导电膜。

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